Павел Иевлев

Текст

В России будут производить эксимерные лазеры для литографии, используемые для изготовления микросхем

После 2026 года в России начнется серийное производство эксимерных лазеров для литографии, которые будут использоваться для выпуска микросхем. В год планируется собирать как минимум пять таких лазеров. По словам замминистра промышленности и торговли России Василия Шпака, разработка идет по плану, а тестовые испытания первого лазера намечены на 2025 год.

Тестировать новые лазеры будут на литографах с топологией 350 нм, которые с помощью лазеров отечественного производства смогут производить чипы с топологией 130 нм. Это важный шаг для восстановления российской микроэлектронной промышленности, так как лазеры позволят России постепенно перейти на более современные технологии, включая 90 и 65 нм.

Разработкой лазеров занимается компания «Лассард», а производство литографических установок ведет «Зеленоградский Нанотехнологический Центр» (ЗНТЦ). Если проект будет успешно завершен, Россия станет третьей страной в мире, производящей подобные устройства, наряду с Японией и США.

Как работают лазеры: