Советский синхротрон восстановят Его используют в литографии

Институт ядерной физики имени Герша Будкера Сибирского отделения Российской академии наук приступил к реализации амбициозного проекта по восстановлению давно заброшенного технологического накопительного комплекса в Зеленограде. Построенный в 1991 году, но так и не введенный в эксплуатацию из-за распада СССР, ускоритель заряженных частиц будет возрожден и перепрофилирован для литографии полупроводников – важнейшего процесса в производстве микроэлектроники.

Возрождение этого комплекса спустя 32 года должно сыграть ключевую роль в отечественной технологической цепочке производства микроэлектроники. Он призван стать основным центром создания, тестирования и отладки технологий литографии – области, в которой в настоящее время доминирует только одна компания в мире.

Зеленоградский синхротрон будет использоваться для разработки, проверки и тестирования основных компонентов отечественных литографов. Используя эту технологию, Россия надеется повысить свою самодостаточность в области микроэлектроники, значительно снизив зависимость от иностранных технологий и оборудования.

Проект не только стратегический, но и экономически эффективный. Оценочная стоимость восстановления, составляющая около 500 миллионов рублей, в 20 раз дешевле, чем строительство нового объекта аналогичной мощности. Это делает проект экономически выгодным вариантом развития технологической инфраструктуры России.

Помимо синхротрона, инициатива включает разработку отечественного имплантера для микроэлектроники в сотрудничестве с НИИ точного машиностроения. Ожидается, что этот компонент займет критически важное место в промышленном ландшафте России. Сроки восстановления синхротрона и разработки имплантера составляют три года.

Как производят отечественные микросхемы: